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SHINSUNG過(guò)濾單元EFU-320-BL(D)-ULPA

基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：SHINSUNG過(guò)濾單元EFU-320-BL(D)-ULPA

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

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產(chǎn)品特性Product characteristics

SHINSUNG過(guò)濾單元EFU系列介紹

設(shè)備風(fēng)扇過(guò)濾單元（EFU）

 

產(chǎn)品信息

在半導(dǎo)體和 FPD 生產(chǎn)設(shè)備的頂部或側(cè)面

安裝它是為了保持設(shè)備內(nèi)部的壓力并提供清潔的空氣，以保持設(shè)備內(nèi)部的清潔。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

ICR 潔凈室、ME 設(shè)備、腔室


SHINSUNG過(guò)濾單元EFU列技術(shù)參數(shù)



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